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等静压机
LT20001
LT20001
静电吸盘等静压机LT20001

PTC LT20001静电吸盘等静压机是一款专为大尺寸静电吸盘陶瓷的等静压成型工艺而设计的层压设备。该设备在半导体陶瓷部件如静电吸盘、探针卡等多层电子陶瓷技术领域有宽泛利用。其运行基于流体静力学的帕斯卡定律 ，以水为压力传递介质 ，在密关腔体内对产品施加各向均匀的压力 ，有助于形成致密度切合预期的陶瓷坯体。

PTC LT20001温等静压机是一款专为大尺寸静电吸盘陶瓷的等静压成型工艺而设计的层压设备。该设备在半导体陶瓷部件如静电吸盘、探针卡等多层电子陶瓷技术领域有宽泛利用。其运行基于流体静力学的帕斯卡定律 ，以水为压力传递介质 ，在密关腔体内对产品施加各向均匀的压力 ，有助于形成致密度切合预期的陶瓷坯体。

利用领域：
       静电吸盘 ，探针卡 ，陶瓷基板 ，加热器等半导体陶瓷部件。

设备特点：

大腔体：500mm腔体直径 ，满足静电吸盘、探卡卡等大尺寸陶瓷巴块层压

压力与温度节造：压强精度±50psi ，温度精度±2℃ ，旨在实现不变的坯体成型。

可编程压力曲线：具备分段起落压职能 ，可凭据工艺需要矫捷设定压力变动流程。

结构设计：整机结构紧凑 ，旨在节俭厂房空间。

人机界面：人机界面设计简洁 ，使用方便易学。

技术基。翰飞杓迫谌肓私40年的行业技术经验。

根基参数：

型号

LT20001

压强(max.)

8000psi(55MPa)

压强精度

±50psi

温度(max.)

85℃（可选配至93℃）

温度精度

±2℃

腔体尺寸(W*D*H)

203*508*570mm

合用巴块尺寸

≤20"

表形尺寸 (W*D*H)

1350*1410*1965mm

电源

380VAC,   3相, 32A

气源

100PSI(0.7Mpa)

水源

 纯净水 ，去离子水

温等静压机选型参考表：

型号压强(max)合用巴块尺寸典型利用领域
LT080018000psi (55MPa)≤6英寸HTCC, LTCC, SOFC, PIEZO,E-CHUCK等
LT12001D8000psi (55MPa)6英寸~10英寸HTCC, LTCC, SOFC, PIEZO,E-CHUCK等
LT12002H12000psi (83MPa)6英寸~10英寸MLCC, PIEZO等次高压需要
LT140018000psi (55MPa)6英寸~12英寸HTCC, LTCC, SOFC, PIEZO,E-CHUCK等
LT200018000psi (55MPa)≤20英寸静电吸盘 ，探针卡等更大尺寸巴块


PTC温等静压机彩页.pdf


PTC温等静压机视频介绍



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