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EA-160_800
EA-160_800
膜厚丈量仪EA-160

EA-160是一款全自动非接触式表表丈量仪 。利用光谱共焦道理，EA-160可用于膜厚线宽丈量、微观尺寸丈量、高度差丈量、平面度丈量、共面度丈量、粗糙度丈量等，也可对通明半通明材质进行多层尺寸丈量 。高精度、高速丈量，结合壮大易用的软件，EA-160膜厚测试仪被宽泛利用于微电子、半导体、5G、3D玻璃、新型医疗、精密工业造作等领域 。

      EA-160是一款全自动非接触式表表丈量仪 。利用光谱共焦道理，EA-160可用于膜厚线宽丈量、微观尺寸丈量、高度差丈量、平面度丈量、共面度丈量、粗糙度丈量等，也可对通明半通明材质进行多层尺寸丈量 。高精度、高速丈量，结合壮大易用的软件，EA-160膜厚测试仪被宽泛利用于微电子、半导体、5G、3D玻璃、新型医疗、精密工业造作等领域 。


利用领域：

HTCC膜厚线宽丈量、LTCC膜厚线宽丈量、SOFC印刷厚度测试、厚膜电路丈量、晶圆涂胶丈量、MEMS丈量、SENSOR丈量、太阳能硅片丈量、芯片描摹丈量、通明材质丈量、环氧树脂丈量、印刷图形丈量、激光镭雕丈量、Wafer槽深丈量、断差丈量、Lens丈量、油墨厚度丈量、蓝宝石厚度丈量、曲面镜片丈量


特点：

高速度、高精度自动丈量系统

最大160mm*160mm 领域丈量

通明材质穿透丈量

丈量膜厚、线宽、平面度等

多法式自由切换，方便矫捷


根基参数：

设备品名

全自动非接触膜厚测试仪

设备型号

EA-160

XY丈量行程

160*160mm

Z轴可调行程

50mm

扫描最幼步距

1um

最大扫描速度

30mm/s

陶瓷检测沉复精度

±0.5μm

Z向分辨率

1nm

横线分辨率

0.1um

光栅尺分辨率

0.01um

量程

1200um

测试方式

可编程自动丈量

MARK类型

圆形、方形、十字、菱形、多边形、不规定图形

载物平台

微孔陶瓷真空吸附平台

膜厚测试

支持

线宽测试

支持

粗糙度测试

支持

通明资料自动测厚

支持

孔深、刻槽深度测试

支持

丈量道理

光谱共焦

CCD视觉

500万

红表激光对准器

标配

数据输出

Excel、CSV体式、JPG体式

数据分析

CPK

数据统计

均匀值，最大值，最幼值，极差，尺度差，CP，CPK，良率，总数

数据接口

串口和谈、网口和谈

接口类型

RS485、RS232、RJ45

数据存储

存储地位肆意指定

数据回测

肆意节点数据回测

MES信息化系统

支持

设备日志

具备

操作系统

WIN10

校验尺度块规

标配

三角块规

标配

表观尺寸

950*650*500mm

电源

AC220V±10%,50-60Hz

气源压缩空气

0.3~0.7Mpa或真空气源

沉量

250KG

工控主机

内存8G、固态硬盘480G、显示器23.8“、分辨率1920*1080，高速千兆网口PCI*2



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